等離子鍍膜設(shè)備是一種小型射頻(RF)等離子磁控濺射鍍膜儀器系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括所有必需的配件,如300W(13.5mhz)射頻電源、2"磁控濺射頭、石英真空室、真空泵和溫度控制器。它是制作一些金屬和非金屬的又好又便宜的實驗幫手。
在鍍膜領(lǐng)域,鍍膜后薄膜樣品的厚度是影響薄膜性能的重要因素。因此,在評價薄膜樣品的性能時,需要對薄膜樣品在不同厚度下的性能進行測試。等離子鍍膜設(shè)備集成了真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng),可在高真空蒸發(fā)室中完成薄膜蒸發(fā),并將蒸發(fā)后的樣品在手套內(nèi)的高純惰性氣體氣氛中儲存、制備和檢測盒子。蒸發(fā)鍍膜與手套箱相結(jié)合,實現(xiàn)了蒸發(fā)、封裝、測試等過程的全封閉生產(chǎn),使整個薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個環(huán)境氣氛可控的完整系統(tǒng)中,消除了不穩(wěn)定因素的影響。有機大面積電路制備過程中的大氣環(huán)境因素,保證了高性能、大面積有機光電器件和電路的制備。
等離子鍍膜設(shè)備精抽太慢的原因有哪些?
1、擴散泵可能不太給力。
解決辦法:可以用電離規(guī)單接到擴散泵泵口,看擴散泵單抽能達(dá)到多少,要看抽的時間和極限,然后進行對比。
2、真空系統(tǒng)有微漏。
解決辦法:這就需要慢慢檢漏,看看保真空時間能不能達(dá)不達(dá)標(biāo)。
3、箱體太臟,太臟放氣量就大了。
解決辦法:清洗箱體
4、前級真空度不行,機械泵或機械泵加羅茨泵的極限真空不行。
解決辦法:可以用電阻規(guī)單獨檢測前級管道。