3靶等離子濺射儀是一種基于兩極（DC）直流濺射原理設(shè)計(jì)的簡單，可靠且經(jīng)濟(jì)的涂覆設(shè)備。在真空室中安裝了三個靶材，旋轉(zhuǎn)的樣品臺可以在同一樣品上依次涂覆三種材料。因此，它適用于實(shí)驗(yàn)室中各種復(fù)合膜樣品的制備以及非導(dǎo)電材料實(shí)驗(yàn)電極的生產(chǎn)。

　　1、電子束敏感樣品

　　主要包括生物樣品，塑料樣品等。在與樣品相互作用的過程中，它以熱的形式將部分能量轉(zhuǎn)移到樣品中。如果樣品是對電子束敏感的材料，則這種相互作用將破壞部分甚至整個樣品結(jié)構(gòu)。在這種情況下，用非電子束敏感材料制成的表面涂層可以用作保護(hù)層，以防止這種損壞。

　　2、不導(dǎo)電的樣品

　　由于樣品不導(dǎo)電，其表面帶有“電子陷阱”，因此這種電子在表面上的積累稱為“充電”。為了消除充電效果，可以在樣品的表面上鍍金屬導(dǎo)電層。該涂層充當(dāng)導(dǎo)電通道，以從材料表面轉(zhuǎn)移帶電的電子，從而消除帶電效應(yīng)。在掃描電子顯微鏡成像過程中，3靶等離子濺射儀濺射材料以增加信噪比，從而獲得更好的成像質(zhì)量。

　　3、新材料

　　非導(dǎo)電材料實(shí)驗(yàn)電極的生產(chǎn)，用以觀察電導(dǎo)率特性。

　　3靶等離子濺射儀結(jié)合內(nèi)部自動控制電路工作時，很容易控制真空室的壓力，電離電流并選擇所需的電離氣體，以獲得良好的涂層效果。根據(jù)實(shí)驗(yàn)?zāi)康?，可以添加各種氣體，例如氬氣和氮?dú)?。?biāo)準(zhǔn)靶是厚度為50mm*0.1mm的金靶，也可以根據(jù)實(shí)際情況配備銀靶，鉑靶等。樣品臺的尺寸可以安裝直徑為50mm，直徑為70mm的樣品臺，也可以根據(jù)自己的要求定制樣品臺。