輸入功率 

 AC 110V , 50/60 Hz, < 200W 

輸出頻率

 13.56 MHz

功率

• 低檔716V DC 10 mA DC 7.2 W 
• 中檔720V DC 15 mA DC 10.5W 
• 高檔740V DC 40 mA DC 30 W 

等離子腔體 

尺寸：6" dia x 6.5" l 石英腔體

真空泵和閥

• 儀器中包括有一雙極旋片泵，2XZ-2，抽氣速率為2L/s, 
• 泵上安裝有一個不銹鋼針閥，其接口為寶塔嘴接頭

通入的氣體 

腔體中可以通入多種氣體，如N2, Ar, Air ，也可以通入多種混合氣體，以滿足實驗需要 ，不可以通入可燃性氣體進入等離子腔體中

可選配件

• 如果基片的直徑為2"和4"，可以選購石英架，每個石英架上可以放25片
• 數(shù)字式真空顯示計，可以精確顯示石英腔體內(nèi)的真空度

可選真空計

（點擊圖片查看詳細資料）

• 可選本公司生產(chǎn)研發(fā)的電阻真空計
• 此款真空計是以Pirani電阻規(guī)在不同真空環(huán)境下體現(xiàn)的熱傳導特性為原理而研發(fā)的一款低真空測量儀器，特別適應于從常壓到0.1Pa非腐蝕性氣體環(huán)境的真空度測量。
    

外型尺寸

11" H x 18" W x 9" D 

細節(jié)圖

操作視頻

 等離子清洗機（點擊查看）

質(zhì)保期

一年質(zhì)保  ( 不包括石英腔體和密封圈) 

質(zhì)量認證

  CE Certified