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簡(jiǎn)要描述:SP-85KTC是一款較大型高溫感應(yīng)加熱/熔煉爐系統(tǒng),配用30KW感應(yīng)加熱器,8.5英寸(216mm)石英管,鉸接式法蘭及閥門(mén),石墨坩堝、石墨毯、氧化鋁保溫毯,16L/min循環(huán)冷水機(jī),真空泵和移動(dòng)爐架。針對(duì)于生長(zhǎng)晶體,金屬熔煉和各種材料的熱處理是的實(shí)驗(yàn)幫手。儀器Z高溫度可以達(dá)到2000℃(使用時(shí)石英管內(nèi)需通入保護(hù)性氣體)。
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SP-85KTC是一款較大型高溫感應(yīng)加熱/熔煉爐系統(tǒng),配用30KW感應(yīng)加熱器,8.5英寸(216mm)石英管,鉸接式法蘭及閥門(mén),石墨坩堝、石墨毯、氧化鋁保溫毯,16L/min循環(huán)冷水機(jī),真空泵和移動(dòng)爐架。針對(duì)于生長(zhǎng)晶體,金屬熔煉和各種材料的熱處理是的實(shí)驗(yàn)幫手。儀器zui高溫度可以達(dá)到2000℃(使用時(shí)石英管內(nèi)需通入保護(hù)性氣體)。
警告:
使用此儀器時(shí),熔煉必須在≤0.02Mpa 的流動(dòng)氬氣下進(jìn)行,流量小于200ml/m,需始終保持石英管內(nèi)的氣壓<0.02MPa,操作儀器前,必須仔細(xì)閱讀說(shuō)明書(shū),而且操作人員需帶防護(hù)面罩。實(shí)驗(yàn)升溫過(guò)程中需時(shí)刻注意石英管內(nèi)的氣壓,若氣壓超過(guò)安全值,會(huì)引起石英管開(kāi)裂,法蘭蹦出甚至造成人身傷害。
技術(shù)參數(shù)
感應(yīng)加熱器 |
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溫度控制器 & 熱電偶 |
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石墨坩堝和耐火磚 |
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密封法蘭 |
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防腐型真空計(jì) | 當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí),不需因測(cè)量氣體種類(lèi)不同而進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換,量程可到3.8x10E-5 torr |
流量計(jì) |
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水冷機(jī) |
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真空泵 |
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移動(dòng)爐架 |
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注意 | 此設(shè)備可改為RTP(快速熱處理爐)和混合物理化學(xué)氣相沉積(HPCVD)系統(tǒng),請(qǐng)點(diǎn)擊下面的圖片查看,如您有任何特殊需求可 |
外形尺寸 | 點(diǎn)擊圖片查看 |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,終身維護(hù)相關(guān)耗材除外,如爐管密封圈等易耗件 |
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