VTC-2RF是一款小型的射頻（RF）等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng)，系統(tǒng)中包含了所有所需的配件，如300W（13.5MHz）的RF電源、2"的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對于制作一些金屬薄膜及非金屬薄膜，它是一款物美價廉的實驗幫手。
我們用此設備得到擇優(yōu)取向的ZnO薄膜
技術參數
輸入電源 | - 220VAC 50/60Hz, 單相
- 800W (包括真空泵）
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等離子源 | 一個300W，13.5MHz的射頻電源安裝在移動柜內  (點擊圖片查看詳細資料）
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磁控濺射頭 | - 一個 2英寸磁控濺射頭（帶有水冷夾層），采用快速接頭與真空腔體相連接
- 靶材尺寸: 直徑為50mm,zui大厚度6.35mm
- 一個快速擋板安裝在法蘭上（手動操作，見圖左3）
- 濺射頭所需冷卻水：流速10ml/min（儀器中配有一臺流速為16ml/min的循環(huán)水冷機）
- 同時可選配1英寸濺射頭
   
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真空腔體 | - 真空腔體：160 mm OD x 150 mm ID x 250mm H，采用高純石英制作
- 密封法蘭:直徑為165 mm . 采用金屬鋁制作，采用硅膠密封圈密封
- 一個不銹鋼網罩住整個石英腔體，以屏蔽等離子體
- 真空度：10-3 Torr （采用雙極旋片真空泵）
- 10-5 torr （采渦旋分子泵）
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載樣臺 | - 載樣臺可旋轉（為了制膜更加均勻）并可加熱
- 載樣臺尺寸：直徑50mm （zui大可放置2英寸的基片）
- 旋轉速度：1 - 20 rpm
- 樣品的zui高加熱溫度為700℃，(短期使用，恒溫不超過1小時)，長期使用溫度500℃
- 控溫精度+/- 10℃
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真空泵 | 可選用直聯式雙極旋片泵,也可選用德國制作的分子泵系統(tǒng)   |
薄膜測厚儀 | - 一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在儀器上，可實時監(jiān)控薄膜的厚度，分辨率為0.10 ?
- LED顯示屏顯示，同時也輸入所制作薄膜的相關數據
 
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外形尺寸 |  |
質保和質量認證 | |
使用注意事項 | - 這款2英寸的射頻濺射鍍膜儀主要是用于在單晶基片上制備氧化物膜，所以并不需要太高的真空度
- 為了較好地排出真空腔體中的氧氣，建議用5%H2+95 %N2對真空腔體清洗，可有效減少真空腔體中的氧含量
- 請用純度大于5N的Ar來進行等離子濺射，甚至5N的Ar中也含有10- 100 ppm的氧和水，所以建議將鋼瓶中的惰性氣體通過凈化系統(tǒng)過后，再導入到真空腔體內
 
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