濺射源及真空腔體-中美合資合肥科晶材料技術有限公司

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薄膜制備全套設備

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2英寸高真空磁控濺射頭--HVMSS-SPC-2-LD

HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭，可適用的靶材種類較廣，如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環(huán)形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。

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廠商性質：生產(chǎn)廠家
更新日期：2024-10-21

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500W直流濺射電源--DC-500-LD

500W直流濺射電源--DC-500-LD

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廠商性質：生產(chǎn)廠家
更新日期：2024-10-21

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1英寸高真空磁控濺射頭--HVMSS-SPC-1-LD

HVMSS-SPC-1-LD是一款磁控濺射頭，可安裝直徑為1英寸的靶材。可與直流、脈沖直流和射頻電源相匹配，以至于可以濺射各種靶材（如金屬、陶瓷、磁性和非磁性靶材等）。而且高真空的結構設計，可提高鍍膜質量。

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更新日期：2024-10-21

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高真空腔體--HVC-SS

本公司提供高真空腔體，客戶可自行為一些實驗搭建真空系統(tǒng)，如等離子濺射，CVD或ALD等實驗，同時也可作為高真空儲存箱。

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更新日期：2024-10-21

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100W小型RF（射頻）電源（采用手動匹配）--RF-100-LD

RF-100-LD是一款小型手動匹配100WRF（射頻）電源，頻率為13.56MHz.此設備設計專門與本公司的1英寸的磁控濺射頭配用，可搭建起一套比較廉價的濺射鍍膜系統(tǒng)，用于制作非導電薄膜。

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更新日期：2024-10-21

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