當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > CVD、PECVD設(shè)備 > PECVD管式爐 > OTF-1500X-80-III-4CV-PE三溫區(qū)1500oC PECVD管式爐
簡(jiǎn)要描述:OTF-1500X-80-III-4CV-PE是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng),它是由500W的射頻電源,1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)對(duì)于生長(zhǎng)納米線、石墨烯或SiC薄膜是一個(gè)新的實(shí)驗(yàn)幫手。
產(chǎn)品分類(lèi)
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技術(shù)參數(shù)
三溫區(qū)開(kāi)啟式1500℃管式爐 |
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射頻電源
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防腐型真空計(jì)
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真空系統(tǒng) |
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質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng) |
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溫控系統(tǒng) |
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外型尺寸 |
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質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,終身維護(hù),相關(guān)耗材除外如爐管,密封圈等易耗件 |
質(zhì)量認(rèn)證 | CE Certified |
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