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當(dāng)前位置：首頁   >  產(chǎn)品中心  >  薄膜制備全套設(shè)備  >  濺射源及真空腔體  >  100W小型RF（射頻）電源（采用手動(dòng)匹配）--RF-100-LD

100W小型RF（射頻）電源（采用手動(dòng)匹配）--RF-100-LD

簡要描述：RF-100-LD是一款小型手動(dòng)匹配100WRF（射頻）電源，頻率為13.56MHz.此設(shè)備設(shè)計(jì)專門與本公司的1英寸的磁控濺射頭配用，可搭建起一套比較廉價(jià)的濺射鍍膜系統(tǒng)，用于制作非導(dǎo)電薄膜。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間：2025-02-10
  • 訪  問  量：3432

詳細(xì)介紹

   RF-100-LD是一款小型手動(dòng)匹配100WRF（射頻）電源，頻率為13.56MHz.此設(shè)備設(shè)計(jì)專門與本公司的1英寸的磁控濺射頭配用，可搭建起一套比較廉價(jià)的濺射鍍膜系統(tǒng)，用于制作非導(dǎo)電薄膜。

 

技術(shù)參數(shù)

射頻電源


 

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  • 輸出：5-100W（可調(diào)），穩(wěn)定性：± 1%
  • 頻率：13.56MHz，穩(wěn)定性：±0.005%
  • 匹配方式：手動(dòng)匹配
  • 冷卻方式：風(fēng)冷
  • 噪音量：<50 dB
  • 輸入：110 -240VAC, 50/60Hz

尺寸

可選配件

  • 1英寸高真空磁控濺射頭，可自己搭建RF或DC濺射鍍膜儀
  • 當(dāng)同時(shí)購買100W射頻發(fā)射器和1英寸磁控濺射頭時(shí)，本公司會(huì)贈(zèng)送一高真空快速接頭
  • 此快速接頭的內(nèi)徑為0.75英寸，可將濺射頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸，真空腔體的壁厚不得大于1英寸
  • 循環(huán)水冷機(jī)，流量為16L / min ，水箱容積為6L

 

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)

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