2英寸高真空磁控濺射頭--HVMSS-SPC-2-LD

簡要描述：HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭，可適用的靶材種類較廣，如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環(huán)形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。

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詳細(xì)介紹

HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭，可適用的靶材種類較廣，如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環(huán)形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。

技術(shù)參數(shù)

特征 (點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）	采用高質(zhì)量的不銹鋼和陶瓷材料制作采用電磁場的有元計(jì)算法來設(shè)計(jì)永磁體，以得到較高的磁場強(qiáng)度和均強(qiáng)場分布磁體表面涂有一層保護(hù)層，以防止冷卻水的腐蝕，延長其使用壽命標(biāo)準(zhǔn)的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配安裝是采用標(biāo)準(zhǔn)真空接頭，便于操作更換靶材較為簡單，無需調(diào)整濺射頭的高度
所需功率	DC（zui大）1000W RF（zui大）500W
zui大濺射電流	3A
濺射電壓	100-1000 V
濺射時腔體真空度	5-100 mTorr
濺射均勻性曲線圖
尺寸	陽極護(hù)套直徑：3.5英寸總長度：14英寸
靶材	直徑: 2.0英寸(50.8mm) 厚度: 對于非磁性靶材，zui大厚度為1/4英寸對于磁性靶材，zui大厚度為1/16英寸靶材利用率：30% 磁鐵:NdFeB 稀土磁鐵
需要冷卻水	流速: 0.8 GPM 進(jìn)水溫度:<20 ℃ 水管:0.25" OD.
可選配件	當(dāng)同時購買300W射頻發(fā)射器和2英寸磁控濺射頭時，本公司會贈送一高真空快速接頭此快速接頭的內(nèi)徑為0.75英寸，可將濺射頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸，真空腔體的壁厚不得大于1英寸循環(huán)水冷機(jī)，流量為16L / min ，水箱容積為6L
質(zhì)保	一年質(zhì)保期，終生維護(hù)