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簡要描述:VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。
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VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。
技術參數
主要特點 |
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參數 |
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進氣口 | 上蓋有一個直徑6mm的進氣口可將需要的氣體通入腔體,實現在氣氛環(huán)境下旋轉涂覆 | ||
可選加熱部分 | 上蓋內部增加紅外燈管加熱,采用K型熱偶測溫,數字溫控器控溫,zui高120℃,可使得樣品涂覆后原位烘干,用于薄膜太陽能電池等研究。
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產品規(guī)格 |
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標準配件 | 1 | 真空吸盤(含O型圈) | 2個 |
2 | 中心定位器(含4個定位柱) | 1個 | |
3 | 滴膠注射器(20ml) | 1個 | |
4 | 注射器支架 | 1個 | |
5 | 無油真空泵 | 1臺 | |
6 | 橡膠管(含卡箍) | 1根 | |
可選配件 | 過濾器(真空泵用) |
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