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簡要描述:PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機,其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片,為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠,改善表面潤濕性,清洗SEM &TEM,紫外對聚合物改性等。 紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞?
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詳細(xì)介紹
PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機,其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片,為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠,改善表面潤濕性,清洗SEM &TEM,紫外對聚合物改性等。
紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物。
技術(shù)參數(shù)
電源 | AC 208~240V,單相 50/60Hz |
紫外燈 |
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腔體&樣品臺 |
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排氣口 |
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外形尺寸 | 510mm x 350mm x 400mm (W x H x D) |
凈重 | 28kg |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包含紫外燈) |
應(yīng)用 |
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