當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > CVD、PECVD設(shè)備 > CVD管式爐 > OTF-1200X-5L-R-CVD5英寸旋轉(zhuǎn)CVD管式爐
簡要描述:OTF-1200X-5L-R-CVD是一款旋轉(zhuǎn)CVD爐。爐體有3個(gè)加熱區(qū),可提高溫度均勻性,同時(shí)配有4通道的精密混氣系統(tǒng)。此款管式爐設(shè)計(jì)主要用于電池粉體材料表面包覆或其他粉體材料表面修飾。設(shè)備相關(guān)論文(點(diǎn)擊查看)
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OTF-1200X-5L-R-CVD是一款旋轉(zhuǎn)CVD爐。爐體有3個(gè)加熱區(qū),可提高溫度均勻性,同時(shí)配有4通道的精密混氣系統(tǒng)。此款管式爐設(shè)計(jì)主要用于電池粉體材料表面包覆或其他粉體材料表面修飾。設(shè)備相關(guān)論文(點(diǎn)擊查看)
技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu) |
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加熱區(qū) |
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接頭 |
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工作溫度 |
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溫控系統(tǒng) |
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熱電偶 |
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真空泵和冷井 |
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供氣系統(tǒng) |
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zui大功率 | 4KW |
電壓 | 208 - 240V單相(需要30 A 的空氣開關(guān)) |
質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不含爐管,密封圈和加熱元件) |
質(zhì)量認(rèn)證 |
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凈重 | 130kg |
應(yīng)用注意事項(xiàng) |
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警告 |
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