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OTF-1200X-PLD是一款多靶激光濺射混合霧化沉積管式爐,此款設(shè)備主要包括混氣裝置,加熱爐,基片加熱腔體、靶材濺射腔體和氣壓控制系統(tǒng)組成。可與準(zhǔn)分子激光器配合,進(jìn)行脈沖激光蒸發(fā)鍍膜,而且靶材濺射腔體內(nèi)可安裝3塊靶材,可依次對(duì)3中不同靶材進(jìn)行激光脈沖蒸發(fā)。此款設(shè)備特別適合制作多元化合物薄膜。
雙溫區(qū)管式爐系列是通過CE認(rèn)證的,其Z高溫度可達(dá)到1200℃,并可通過調(diào)節(jié)兩個(gè)溫區(qū)的控溫程序使?fàn)t管內(nèi)溫場(chǎng)形成一溫度梯度。兩個(gè)溫區(qū)分別由兩個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)來控制,而且都為PID30段程序化控溫。此系列管式爐 可以用CVD方法來生長(zhǎng)納米材料和制備各種薄膜.
小型真空管式爐是一款通過CE認(rèn)證的小型高溫管式爐,其爐管采用的是高純氧化鋁剛玉管,加熱元件為硅碳棒。儀器本身帶有兩個(gè)真密封法蘭(法蘭上已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥)??刂葡到y(tǒng)采用高精度可控硅移相觸發(fā)控制,其控溫精度為+/-1°C,控溫方式采用30段程序設(shè)置,Z高溫度可達(dá)到1400℃。
OTF-1200X-HP-30A是一款小型的高溫高壓管式爐,其爐管法蘭上安裝有高壓電磁閥和壓力傳感器,所以當(dāng)管內(nèi)氣壓高于設(shè)定值時(shí),電磁閥會(huì)自動(dòng)打開排氣,使管內(nèi)氣壓達(dá)到設(shè)定值。其爐管采用鎳基合金鋼管制作,其尺寸為30mm O.D x 12 mm I.D x 560 mm L。此款可在高壓氧環(huán)境或惰性氣體環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行熱處理,Z高溫度可達(dá)1100℃。所以特別是對(duì)于超導(dǎo)材料及介電材料的探索研究,
OTF-1200X-VTHPΦ60是一款雙溫區(qū)立式高溫高壓爐,爐管采用鎳基合金鋼管制作,具有較高的蠕變強(qiáng)度和抗氧化性。爐管可承受的Z高溫度為1100℃(在此溫度下可承受的壓力為5MPa).此款設(shè)備適合用水浴法制備材料,也特別適合在高壓氧環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行熱處理。法蘭上安裝有電磁閥,當(dāng)爐管內(nèi)壓力高于設(shè)定值時(shí),電磁發(fā)自動(dòng)打開排出氣體減小管內(nèi)氣壓。
OTF-1200X-4-VT-II是通過CE認(rèn)證的雙溫區(qū)立式管式爐,其爐管直徑可制作為100mm,適合于對(duì)樣品在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行吊燒和淬火。爐體下端安裝有一移動(dòng)架以方便與移動(dòng)。采用PID方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié),可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1 ℃.
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