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加熱型等離子薄膜濺射儀--GSL-1100X-SPC12H

簡(jiǎn)要描述：GSL-1100X-SPC12H是一款緊湊型加熱等離子薄膜濺射儀，專門設(shè)計(jì)為基地鍍上金屬膜，如金，鉑，銦和銀等。Z大可放置樣品尺寸直徑為40mm，膜厚可達(dá)300埃，特別適用于為SEM樣品鍍上金而作為導(dǎo)電極。此款等離子薄膜濺射儀上自帶了所必要的配件，可立即使用，包含一個(gè)濺射靶材，真空泵，不銹鋼波紋管和快速卸裝卡箍。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間：2024-10-21
  • 訪  問  量：2016

產(chǎn)品分類

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詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)

輸入電源

208V - 240V, 50/60 Hz, < 3000W 

樣品室

  • 石英腔體尺寸, 100 mm Dia. x 130mm H
  • 帶有不銹鋼法蘭

             

襯底加熱器

 

  • 載樣臺(tái)的尺寸為60 mm,可加熱到600度
  • 一個(gè)30段可編程溫度控制器，控溫精度±1ºC
  • 推薦升溫速率:15°C/m
  • 樣品臺(tái)的高度可以調(diào)節(jié)
     

 

                    

樣品臺(tái)                     溫控盒后視圖


真空配置

  • 每個(gè)配件包含在內(nèi)，可立即使用

  • 儀器中配有一臺(tái)2L/S雙旋片機(jī)械泵，出氣口安裝有立式油污過濾器，過濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙，和減少泵油的損耗，保護(hù)環(huán)境和人體健康。
  • 高純度金箔靶

進(jìn)氣口

有一不銹鋼針閥安裝在儀器上，可以通入氬氣，能實(shí)現(xiàn)更好的等離子涂層


靶材

  • 標(biāo)配靶材
  • 包含：4N purity Gold foil:  57 mm dia. x 0.12 mm 
  • 可選靶材：請(qǐng)點(diǎn)擊查看 Au, Ag or Pt tagets.                

外形尺寸

L480mmx W320mm x H150mm

運(yùn)輸重量

160Lbs with crating

凈重

20 kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終身維護(hù)

質(zhì)量認(rèn)證

  Certified

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